日本新宇宙半导体特气检测仪

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XD303（自动吸引式）半导体特气检测仪

类别	半导体特气检测仪
品牌	日本新宇宙
报价	洽谈
	010-51296425(韩先生)
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XD303（自动吸引式）半导体特气检测仪简介

D303（自动吸引式）半导体特气检测仪具有以下特点：采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。高检测灵敏度。能检测很多种类的半导体特气。液晶数字显示。

XD303（自动吸引式）半导体特气检测仪详细参数

特点：

采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。

高检测灵敏度。

能检测很多种类的半导体特气。

液晶数字显示。

规格

型号

XD-303AH

XD-303PH

XD-303BH

XD-303

检测对象气体

砷烷 ( A S H 3 )

磷烷 ( PH 3 )

乙硼烷 ( B 2 H 6 )

其它

检测范围

0 ～ 1ppm
0 ～ 0.2ppm

0 ～ 1ppm
0 ～ 0.3ppm

0 ～ 1ppm

因规格而异

最小刻度

0.1ppm
0.01ppm

0.1ppm
0.01ppm

0.1ppm

采样方式

自动吸引式

应答速度

60%应答40秒

XD303（自动吸引式）半导体特气检测仪备注

1.产品规格由产品制造商提供。
2.以上产品规格及功能只供參考，如有更改，恕不预先通知。
3.产品价格，如有更改，恕不预先通知。

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